T/QDAS 094-2022 二极管GPP沟槽清洗用混合酸配方

标准编号：T/QDAS 094-2022

中文名称：二极管GPP沟槽清洗用混合酸配方

发布部门：青岛市标准化协会

发布日期：2022-07-22

实施日期：2022-07-22

标准状态：现行

标准页数：6页

内容简介：本文件规定了二极管GPP沟槽清洗用混合酸的成分、纯度要求、浓度要求、配制比例、混合酸配制和使用要求等。本文件适用于采用二极管（包括整流二极管、快恢复功率二极管、可控硅、瞬态二极管、半导体放电管等）湿法腐蚀工艺清洗GPP沟槽的混合酸的配制。