YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉

标准编号：YS/T 1031-2015

中文名称：化学气相沉积炉

英文名称：Chemical vapor deposition furnace

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

标准状态：现行

标准页数：9页

内容简介：本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。本标准适用于化学气相沉积。