JB/T 9481-1999 扩散硅力敏器件

标准编号:JB/T 9481-1999

中文名称:扩散硅力敏器件

英文名称:Diffused type silicon force sensing devices

发布部门:国家机械工业局

起草单位:沈阳仪器仪表工艺研究所

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