SJ 21122-2016 PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范
标准编号：SJ 21122-2016
中文名称：PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范
英文名称：Specification for pllished mono-crystallinesilicon carbide wafers of PVTSiC76SI1-BP01
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2016-01-19
实施日期：2016-03-01
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