YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法

标准编号：YS/T 1059-2015

中文名称：硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法

英文名称：Determination of total carbon content in trichlorosilane for silicon equtaxy-Gas chromatographic method

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

标准状态：现行

标准页数：7页

内容简介：本标准规定了硅外延用三氯氢硅中总碳含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。