T/CEMIA 033-2023 半导体制程8英寸(200 mm)12英寸(300 mm)用石英玻璃炉管

标准编号：T/CEMIA 033-2023

中文名称：半导体制程8英寸(200 mm)12英寸(300 mm)用石英玻璃炉管

英文名称：Quartz glass tube for 8 in 12 in Semiconductor Process

发布部门：中国电子材料行业协会

发布日期：2023-06-08

实施日期：2023-09-08

标准状态：现行

标准页数：15页

内容简介：本文件规定了半导体制程8英寸（200 mm）12英寸（300 mm）用石英玻璃炉管的术语和定义，分类和产品结构，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、贮存和运输。本文件适用于半导体扩散工艺制程8英寸（200 mm）12英寸（300 mm）用石英玻璃炉管制品，包含石英外管、石英内管、石英工艺管及石英双层管（以下简称“石英玻璃炉管”），不适用于14 nm及以下半导体制程用石英玻璃炉管。