YS/T 24-2016 外延钉缺陷的检验方法

标准编号：YS/T 24-2016

中文名称：外延钉缺陷的检验方法

英文名称：Test methods for spike of epitaxial layers

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部

发布日期：2016-04-05

实施日期：2016-09-01

标准状态：现行

替代标准：YS/T 24-1992

标准页数：5页

内容简介：本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷比较少且彼此不相连，本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。