T/CZSBDTHYXH 001-2023 半导体晶圆缺陷自动光学检测设备

标准编号：T/CZSBDTHYXH 001-2023

中文名称：半导体晶圆缺陷自动光学检测设备

英文名称：Wafer defects Automatic optical inspection equipment

发布部门：常州市半导体行业协会

发布日期：2023-08-08

实施日期：2023-08-09

标准状态：现行

标准页数：15页

内容简介：本标准规定了半导体晶圆缺陷光学检测仪的术语和定义、产品型号、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求。