T/GVS 002-2021 高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求
标准编号：T/GVS 002-2021
中文名称：高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求
英文名称：Generic specification for high precision magnetron sputtering coating plant
发布部门：广东省真空学会
发布日期：2021-06-28
实施日期：2021-06-28
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