SJ 21199-2016 卧式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备工艺验证方法

标准编号：SJ 21199-2016

中文名称：卧式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备工艺验证方法

英文名称：Technological verification procedures for horizontal plasma enhanced chemical vapor deposition equipment