SJ 21165-2016 MEMS 惯性器件湿法腐蚀工艺技术要求
标准编号：SJ 21165-2016
中文名称：MEMS 惯性器件湿法腐蚀工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for MEMS inertial devices wet etching process
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2016-12-14
实施日期：2017-03-01
文档首页截图：
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标准编号：SJ 21165-2016
中文名称：MEMS 惯性器件湿法腐蚀工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for MEMS inertial devices wet etching process
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