GB/T 11068-2006 砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
标准编号:GB/T 11068-2006
中文名称:砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法
英文名称:Gallium arsenide epitaxial layer—Determination of carrier concentration voltage-capacitance method
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期:2006-07-18
实施日期:2006-11-01
标准状态:现行
替代标准:GB/T 11068-1989
标准页数:7页
内容简介:本标准规定了砷化镓外延层载流子浓度电容-电压测量方法,适用于砷化镓外延层基体材料中载流子浓度的测量。测量范围:1×1014 cm-3~5×1017 cm-3。
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