GB/T 14264-2009 半导体材料术语

标准编号：GB/T 14264-2009

中文名称：半导体材料术语

英文名称：Semiconductor materials—Terms and definitions

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

标准状态：现行

替代标准：GB/T 14264-1993

标准页数：49页

内容简介：本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。本标准适用于元素和化合物半导体材料。