T/BEA 40002-2022 微波ECR等离子体发生器校准规范

标准编号：T/BEA 40002-2022

中文名称：微波ECR等离子体发生器校准规范

英文名称：Calibration Specification for Microwave ECR Plasma Generator

发布部门：北京电子仪器行业协会

发布日期：2022-01-18

实施日期：2022-02-09

标准状态：现行

标准页数：13页

内容简介：本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的微波ECR等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。