GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范

标准编号：GB/T 28276-2012

中文名称：硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范

英文名称：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for dissolved wafer process

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

发布日期：2012-05-11

实施日期：2012-12-01

标准状态：现行

标准页数：14页

内容简介：本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。