T/ZJCX 0049-2024 碳化硅衬底激光剥离设备

标准编号：T/ZJCX 0049-2024

中文名称：碳化硅衬底激光剥离设备

英文名称：Laser slicing equipment for SiC substrate

发布部门：浙江省企业技术创新协会

发布日期：2024-12-24

实施日期：2024-12-25

标准状态：现行

标准页数：11页

内容简介：本文件规定了碳化硅衬底激光剥离设备的术语和定义、工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和贮存。本文件适用于碳化硅衬底激光剥离设备的生产和检验。