SJ 21493-2018 碳化硅外延片表面缺陷测试方法
标准编号：SJ 21493-2018
中文名称：碳化硅外延片表面缺陷测试方法
英文名称：Test method of surface defects for silicon carbide epitaxial wafers
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
文档首页截图：
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标准编号：SJ 21493-2018
中文名称：碳化硅外延片表面缺陷测试方法
英文名称：Test method of surface defects for silicon carbide epitaxial wafers
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