YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法

标准编号：YS/T 15-2015

中文名称：硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法

英文名称：Test method for thickness of epitaxial layers and diffused layers by angle lap stain

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

标准状态：现行

替代标准：YS/T 15-1991

标准页数：6页

内容简介：本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围：1μm～100μm。