T/IAWBS 008-2019 SiC晶片的残余应力检测方法
标准编号：T/IAWBS 008-2019
中文名称：SiC晶片的残余应力检测方法
英文名称：Experimental method for residual stress in SiC wafers
发布部门：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期：2019-12-27
实施日期：2019-12-31
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标准编号：T/IAWBS 008-2019
中文名称：SiC晶片的残余应力检测方法
英文名称：Experimental method for residual stress in SiC wafers
发布部门：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期：2019-12-27
实施日期：2019-12-31
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