SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
标准编号：SJ/T 11503-2015
中文名称：碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
英文名称：Test methods for measuring surface roughness of polished monocrystalline silicon carbide wafers
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
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