T/CAS 304-2018 磁控溅射硅靶材及绑定靶材

标准编号：T/CAS 304-2018

中文名称：磁控溅射硅靶材及绑定靶材

英文名称：Magnetron sputtering silicon targets and bound targets

发布部门：中国标准化协会

发布日期：2018-05-29

实施日期：2018-05-29

标准状态：现行

标准页数：13页

内容简介：本标准规定了磁控溅射硅靶材的分类及牌号、原料、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、供货状态及订货单（或合同）内容。本标准适用于半导体等电子器件用的各种磁控溅射硅靶材。