GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片

标准编号：GB/T 14015-1992

中文名称：硅-蓝宝石外延片

英文名称：Silicon on sapphire epitaxial wafers

发布部门：国家技术监督局

发布日期：1992-12-28

实施日期：1993-08-01

标准状态：现行

标准页数：7页

内容简介：本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。