GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢

标准编号：GB/T 26250-2010

中文名称：电子工业用气体 砷化氢

英文名称：Gases for electronic industry—Arsine

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

发布日期：2011-01-14

实施日期：2011-05-01

标准状态：现行

标准页数：8页

内容简介：本标准规定了砷化氢的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延。分子式：AsH3。相对分子质量：77.945 42（按2007年国际相对原子质量计算）