SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

标准编号：SJ/T 11552-2015

中文名称：以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部