T/IAWBS 016-2022 碳化硅单晶片 X 射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

标准编号：T/IAWBS 016-2022

中文名称：碳化硅单晶片 X 射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

发布部门：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟