GB/T 24580-2009 重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法

标准编号：GB/T 24580-2009

中文名称：重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法

英文名称：Test method for measuring Boron contamination in heavily doped n-type silicon substrates by secondary ion mass spectrometry

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

标准状态：现行

标准页数：9页

内容简介：本标准规定了重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱测试方法。本标准适用于二次离子质谱法（SIMS）对重掺n型硅衬底单晶体材料中痕量硼沾污（总量）的测试。