SJ 20514A-2018 微波功率晶体管用硅外延片规范

标准编号:SJ 20514A-2018

中文名称:微波功率晶体管用硅外延片规范

英文名称:Specification for silicon epitaxial wafer for microwave power transistor

发布部门:国家国防科技工业局

发布日期:2018-12-29

实施日期:2019-03-01

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