GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨

标准编号：GB/T 14601-2009

中文名称：电子工业用气体 氨

英文名称：Gas for electronic industry—Ammonia

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-05-01

标准状态：现行

替代标准：GB/T 14601-1993

标准页数：9页

内容简介：本标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。分子式：NH3。相对分子质量：17.031（按2005年国际相对原子质量）。