GB/T 34894-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

标准编号：GB/T 34894-2017

中文名称：微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

英文名称：Micro-electromechanical system technology—Measuring methodfor strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

发布部门：国家质检总局 国家标准委

发布日期：2017-11-01

实施日期：2018-05-01

标准状态：现行

标准页数：11页

内容简介：本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微悬臂梁结构表面形貌进行应变梯度测量的方法。本标准适用于表面反射率不低于4%且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微悬臂梁结构。