JJF(电子) 0096-2023 非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校准规范

标准编号：JJF(电子) 0096-2023

中文名称：非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校准规范

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部

发布日期：2023-07-28

实施日期：2023-09-01

标准状态：现行

标准页数：20页

内容简介：本规范适用于基于光学镜头和图像分析软件，在测量范 围内通过一次完整成像或图像二次拼接的方法进行测量的图 像尺寸测量仪的校准。图像尺寸测量仪，也称为闪测影像测量仪，是基于图像 摄取技术与图像分析算法，同时集合了一键闪测功能的高智 能高精度测量仪器。设备通过精密光学镜头获取被测件的光 学图像，再通过高精度图像分析算法对信号进行分析运算来达到测量的目的。现多用于复杂零部件的检测。