T/ZJCX 0043-2024 等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟

标准编号：T/ZJCX 0043-2024

中文名称：等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟

英文名称：Graphite boat for plasma enhanced chemical vapor deposition equipment

发布部门：浙江省企业技术创新协会

发布日期：2024-07-23

实施日期：2024-07-24

标准状态：现行

标准页数：12页

内容简介：本文件规定了光伏领域管式等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟（简称石墨舟）的术语和定义、结构和分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本文件适用于等离子增强化学气相沉积设备（PECVD）用石墨舟。