GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩

标准编号：GB/T 16945-2009

中文名称：电子工业用气体 氩

英文名称：Gas for electronic industry—Argon

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-05-01

标准状态：现行

替代标准：GB/T 16945-1997

标准页数：4页

内容简介：本标准规定了氩的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。分子式：Ar。相对分子质量：39.948(按2005年国际相对原子质量)。