T/STIC 110096-2024 半导体用多级罗茨干式真空泵

标准编号：T/STIC 110096-2024

中文名称：半导体用多级罗茨干式真空泵

英文名称：Multi-stage roots dry vacuum pumps for semiconductor

发布部门：上海市检验检测认证协会

发布日期：2024-01-01

实施日期：2024-01-01

标准状态：现行

标准页数：10页

内容简介：本文件规定了半导体用多级罗茨干式真空泵的型式、型号与基本参数、技术要求、测量方法、抽样及判定方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体用多级罗茨干式真空泵（以下简称“泵”）。