T/CAMIE 15-2023 降解电子级水总有机碳紫外线系统技术规程

标准编号：T/CAMIE 15-2023

中文名称：降解电子级水总有机碳紫外线系统技术规程

英文名称：Technical regulation of ultraviolet system for degradation of total organic carbon in electronic-grade water

发布部门：中国环保机械行业协会

发布日期：2023-09-18

实施日期：2023-10-18

标准状态：现行

标准页数：26页

内容简介：本文件规定了用于降解电子级水总有机碳（TOC）紫外线系统的术语和定义、工艺设计、质量控制、安装、调试、验收、运行维护与安全防护。本文件适用于电子级水制备工艺中采用紫外线方法降解总有机碳的系统（以下简称紫外线降解TOC 系统）。