GB/Z 42624-2023 真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序

标准编号：GB/Z 42624-2023

中文名称：真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序

英文名称：Vacuum technology—Vacuum gauges—Procedures to measure and report outgassing rates

发布部门：国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会

发布日期：2023-05-23

实施日期：2023-05-23

标准状态：现行

标准页数：34页

内容简介：本文件规定了真空室整体及其组件的放气率测试程序。本文件适用的放气率由应用于高真空或超高真空的设备产生，在23 ℃时小于1×10-5 Pa·m3·s-1（1×10-2 Pa·L·s-1），放气产生的各种气体或蒸气的分子量均小于300 u。 总放气率的上限1×10-5 Pa·m3·s-1与放气材料的尺寸、总表面积、材质或者状态无关。如果标称放气率（单位面积放气率）已测定，则该面积采用名义几何表面积，而非包括表面粗糙度的比表面积。当难以测定样品（如粉末、多孔材料、非常粗糙的表面或者复杂的设备等）的名义几何表面积时，采用单位质量放气率（如每克放气率）。