T/GVS 015-2024 远程等离子体源的解离率测试方法

标准编号：T/GVS 015-2024

中文名称：远程等离子体源的解离率测试方法

英文名称：Test method for dissociation rate of remote plasma source

发布部门：广东省真空学会

发布日期：2024-10-10

实施日期：2024-10-10

标准状态：现行

标准页数：12页

内容简介：本文件规定了远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、符号与缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不确定度、试验报告。本文件适用于泛半导体表面处理、清洗等应用场合中，通入气流量60 SLM、功率40 kW以内远程等离子体源的解离率测试。