GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

标准编号：GB/T 13388-2009

中文名称：硅片参考面结晶学取向X射线测试方法

英文名称：Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

标准状态：现行

替代标准：GB/T 13388-1992

标准页数：10页

内容简介：本标准规定了α角的测量方法，α角为垂直于圆型硅片基准参考平面的晶向与硅片表面参考面间角。本标准适用于硅片的参考面长度范围应符合GB/T 12964和GB/T 12965中的规定，且硅片角度偏离应在-5°到+5°范围之内。