GB/T 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则

标准编号：GB/T 26113-2010

中文名称：微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则

英文名称：Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-geometrical parameters

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

发布日期：2011-01-10

实施日期：2011-10-01

标准状态：现行

标准页数：11页

内容简介：本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。