JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备

标准编号：JB/T 8945-2010

中文名称：真空溅射镀膜设备

英文名称：Vacuum sputtering coating plant

发布部门：工业和信息化部

起草单位：广东中环真空设备有限公司、成都南光机器有限公司、大连远东真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所