GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
标准编号：GB/T 13389-1992
中文名称：掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
英文名称：Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon
发布部门：国家技术监督局
起草单位：峨嵋半导体材料研究所
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