T/SZMES 3-2021 薄膜应力测定 基片弯曲法
标准编号：T/SZMES 3-2021
中文名称：薄膜应力测定 基片弯曲法
英文名称：Determination of the film stress—Substrate curvature method
发布部门：深圳市机械工程学会
发布日期：2021-05-28
实施日期：2021-06-01
文档首页截图：
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标准编号：T/SZMES 3-2021
中文名称：薄膜应力测定 基片弯曲法
英文名称：Determination of the film stress—Substrate curvature method
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