T/CCSAS 052-2025 三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范

标准编号：T/CCSAS 052-2025

中文名称：三氯氢硅还原法多晶硅生产安全技术规范

发布部门：中国化学品安全协会

发布日期：2025-03-03

实施日期：2025-03-03

标准状态：现行

标准页数：23页

内容简介：本文件界定了采用三氯氢硅(TCS)还原法生产多晶硅的术语和定义,规定了企业从设计到生产过程的安全技术基本要求,包括设计与总图布局中的安全要求、生产过程的安全要求。本文件适用于采用三氯氢硅还原法工艺技术生产多晶硅的企业。采用其他工艺技术生产多晶硅的企业可参照执行。