YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

标准编号：YS/T 14-2015

中文名称：异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

英文名称：Test method for thickness of heteroepitaxy layers and polycrystalline layers

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01

标准状态：现行

替代标准：YS/T 14-1991

标准页数：6页

内容简介：本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。