T/ICMTIA 2-2019 集成电路用过氧化氢

标准编号：T/ICMTIA 2-2019

中文名称：集成电路用过氧化氢

英文名称：Hydrogen peroxide for intergrated circuits

发布部门：中关村集成电路材料产业技术创新联盟

发布日期：2019-04-17

实施日期：2019-10-10

标准状态：现行

标准页数：20页

内容简介：本标准规定了集成电路用过氧化氢(H2O2)的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于集成电路制造过程中使用的过氧化氢。 分子式：H2O2 相对分子质量：34.01(按2011年国际相对原子质量)