T/GVS 005-2022 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范
标准编号：T/GVS 005-2022
中文名称：半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范
英文名称：Testing specification for contrast method of absolute pressure capacitance diaphragm vacuum gauge in the semiconductor equipment
发布部门：广东省真空学会
发布日期：2022-03-28
实施日期：2022-03-28
文档首页截图：
温馨提示：
如果点击下载后没有反应或速度过慢等问题，请尝试更换下载地址或稍后再试。