T/SICA 006-2024 集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求

标准编号：T/SICA 006-2024

中文名称：集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求

英文名称：General technical requirements for overhead hoist transfer system used in integrated circuit wafer factory

发布部门：上海市集成电路行业协会

发布日期：2024-06-07

实施日期：2024-07-07

标准状态：即将实施

标准页数：10页

内容简介：本标准主要技术内容包括集成电路晶圆厂用天车传送系统的术语和定义、缩略语、技术要求、环境要求、安全要求、标志、包装、运输和贮存、交付要求。