SJ/T 11489-2015 低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法

标准编号：SJ/T 11489-2015

中文名称：低位错密度磷化铟抛光片蚀坑密度的测量方法

英文名称：Test method for measuring etch pit density(EPD)in low dislocation density indium phosphide wafers

发布部门：中华人民共和国工业和信息化部

发布日期：2015-04-30

实施日期：2015-10-01