GB/T 11164-2011 真空镀膜设备通用技术条件

标准编号：GB/T 11164-2011

中文名称：真空镀膜设备通用技术条件

英文名称：Vacuum coating plant generic specification

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

发布日期：2011-11-21

实施日期：2012-06-01

标准状态：现行

替代标准：GB/T 11164-1999

标准页数：9页

内容简介：本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。本标准适用于压力在10-5Pa ～10-3Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备（以下简称设备）。