SJ 21168-2016 MEMS 惯性器件金属薄膜生长工艺技术要求
标准编号：SJ 21168-2016
中文名称：MEMS 惯性器件金属薄膜生长工艺技术要求
英文名称：Technical requirements for MEMS inertial device metal films deposition process
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2016-12-14
实施日期：2017-03-01
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