T/CASAS 026-2023 碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法

标准编号：T/CASAS 026-2023

中文名称：碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法

英文名称：Test method for minority carrier lifetime in silicon carbide—microwave photoconductive decay

发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟

发布日期：2023-06-19

实施日期：2023-06-19

标准状态：现行

标准页数：9页

内容简介：本文件描述了用微波光电导法测定碳化硅少数载流子寿命的方法。本文件适用于少数载流子寿命为20 ns～200 μs的碳化硅晶片的寿命测定及质量评价。